氩气纯化

自动氩气纯化装置，是在吸取国内所有氩气净化机经验基础上研究开发的一款新产品，也是国内同类产品中首家生产并市场化的全自动纯化装置。该产品能把普通工业氩气(99.9％)净化、纯化后得到高纯氩气(99.9999％)。高纯氩广泛应用于电子、冶金、机械、高纯材料和仪器分析等产业部门和科学研究中。为直读光谱仪、等离子光谱仪、辉光光谱仪、定氢仪和单晶硅、光电材料生产等提供稳定的高纯氩气。

氩气纯化

氩气纯化技术特点

1.氩气纯化装置采用净化加纯化双重处理，它比一般净化机及单纯的纯化器多装有除去N2、CH4、H2、CO等杂质高效吸附剂，因此它不但具有普通净化机除去O2、H2O、CO2等气体杂质的功能，还具有普通净化机不具有的除去N2、CH4、H2、CO等气体杂质的功能。净化后纯达到99.9999％以上；

2.氩气纯化装置为双系统结构，开机后一组工作，另一组再生备用，且工作和再生都自动进行，故能够长期连续供气；当杂质吸附饱和后，可通过再生恢复活性，故寿命长；

3.氩气纯化装置采用微电脑工业控制技术，具有全自动功能，使用操作简单，克服了手动和半自动机因人为操作失误引起的气体不纯，性能稳定可靠，只要有气源，就可实现长期无人管理；

4.对原料氩气要求不高，普通工业纯氩只要纯达到99.6％就可以；

5.气路系统内部管道全用电动控制阀及不锈钢电化抛光管制造，避免了因气路管道质量过差而对气体造成二次污染。

氩气纯化主要技术指标

1.输入原气

本纯化装置允许原料氩气中的氧含量3000ppm、N2200ppm、水1000ppm(即露点低于-20C)，一般瓶装纯氩均能这些要求。

2.输出纯气

纯气的大输出能力为4m／h

纯气中杂质含量：O20.2ppmN20.2ppm

H2O1ppm即露点-76C

C的氧化物0.1ppmS、P的氧化物0.1ppm

尘埃粒子数(0.3m)3-5个／升，即100级

3.工作条件

工作压力1.0MPa

催化塔工作温260C；吸附塔工作温室温

合金吸附塔工作温300C；吸附塔再生温400C；再生用气量500ml／min

4、氩气纯化高纯氩气指标

气体

纯(%)

H2

(ppm)

O2

(ppm)

CO

(ppm)

CO2

(ppm)

CH4

(ppm)

露点

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