电子行业生产标准的超纯水制备

钟工MQQ---

工业超纯水设备工程：

超纯水：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程的水。纯极高的水，电阻率大于18Mcm，或接近18.3Mcm极限值。在集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。集成电路的集成越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18M.cm、15M.cm、10M.cm、2M.cm、0.5M.cm，以区分不同水质。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。

工业超纯水设备的特点：

工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床（EDI电除盐系统）系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使工业超纯水设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

工业超纯水设备的工艺流程；

电子行业制备超纯水的工艺大致分为以下几种：

1、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水沙炭过滤器精密过滤器原水箱反渗透设备混床（复床）纯水箱纯水泵后置精密过滤器用水点

2、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水沙炭过滤器精密过滤器原水箱阳床阴床混床（复床）纯水箱纯水泵后置精密过滤器用水点

3、采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水沙炭过滤器精密过滤器原水箱反渗透设备电去离子（EDI）纯水箱纯水泵后置精密过滤器用水点

工业超纯水设备的应用领域；

1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；

2、超纯材料和超纯化学试剂；

3、实验室和中试车间；

4、汽车、家电表面抛光处理；

5、光电产品；

6、其他高科技精微产品。

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