低温探针台
测试设备按照应用产线的不同可以分为晶圆测试(中测)和终端测试(终测),低温探针台,晶圆测试是在晶圆制造厂出厂前做的整个晶圆状态下的测试,终端测试则是封测厂将芯片完成封装之后对单个芯片成品性能的完整测试。按照测试对象的不同,测试机可以分为数字测试机、模拟测试机、数模混合测试机、存储器测试机等等。测试机还要配合连接的设备使用,在晶圆测试部分使用的是探针台,在终端测试使用的是分选机。

低温探针台(真空低温探针台)
测试设备分类示意图
资料来源:公开资料整理
从全球半导体市场规模来看,低温探针台,据统计,2020年全球半导体测试设备市场规模为60.1亿美元,同比上涨19.72%,约占半导体设备总额8.5%。预计2021年和2022年市场规模将分别约为75.8亿美元、80.3亿美元。
真空低温探针台
峰会期间,国内领先的高性能晶圆探针台与测试方案提供商深圳市森美协尔科技有限公司(下文简称“森美协尔”)携其自主研发的A12量产型全自动晶圆探针台方案亮相,展位号A22。
据了解,森美协尔研发的A12是一款12寸(兼容8寸)的量产型全自动晶圆探针台,通过使探针卡与晶圆Pad点之间精准接触,实现完成晶圆WAT/CP测试,该设备操作简单并具有良好的机械稳定性,能为客户提供一个具有成本优势且高产量的晶圆测试解决方案,满足(晶圆厂、封测厂、测试厂)等不同客户的测试需求。
一款产品,三大优势
集微网获悉,该公司在2016年就启动了对全自动晶圆探针台项目的研发,并逐步开始布局工业级晶圆探针台领域市场。经过不断的技术迭代更新,A12全自动探针台已拥有同步国外的先进技术:低噪声、快速移动、高产能、采用缺口和晶圆ID同步识别,减少了晶圆的加载时间;高强度低重心设计,支持高针数探针卡,且价格更合理,本土化服务网络及遍布全球的海外代理。
高低温半自动探针台
LakeShoreCryotronics将于下周在圣地亚哥的SPIEOptics+Photonics上展示其新的MeasureReady™M81-SSM同步源测量系统如何用于低温环境中的光学测量。
该公司将展示M81仪器及其电源/测量模块如何在LakeShoreVNF-100低温恒温器内的光电二极管设备中激发和测量小光电流。在此设置中,低温探针台,激光由M81-BCS-10电流源模块进行电力驱动并通过斩波轮,从而产生使用M81-CM-10电流测量模块的锁定检测测量的光电流。M81-SSM模块化架构允许将信号和源放大器直接安装在低温恒温器上,从而最大限度地减少噪声和样品布线产生的不必要影响。类似的设置可用于其他光学实验,低温探针台,例如太阳能电池和光电探测器设备的外部量子效率(EQE)测量。


