氩气回收

氩气回收带氩气净化处理系统主要由氩气尘埃净化系统，氩气除氧净化及冷却处理系统、氩气干燥净化系统、调压自动切换控制系统等组成。

氩气回收

采用贵金属-银系201高效吸气剂为催化剂，201催化剂是一种还原性气体净化剂，其氧化态可以催化剂剂主要吸气相为固态氧直接与原料气中的烃类等多种金属间化合物，活性高，扩散活化能低，当表面吸附着气体时，在一定温下容易向体内扩散，具有吸气速高、吸气容量大的特点。激活后在佳吸气温范围内能有效有吸收O2、CO2、CO、H2、CH4和水汽等，催化剂不吸收He、Ar、Ne等惰性气体。所以使用该吸气剂来纯化精制He、Ar、Ne等惰性气体。本装置净化器采用特殊结构，具有接触面积大、阻力小、净化效率高、热功率损耗小等优点。本装置可与区熔硅单晶炉配套使用，也可用干激光器、溅射、半导体生产，气相色谱仪、特殊灯泡、稀有金属加工、冶金行业的精炼提纯等需要用高纯氩气的生产技术领域。

二、氩气回收技术指标：

1、号ArC-120

2、处理气流量120（Nm3/h）

3、大工作压力0.6（Mpa）

4、反应器工作温100～150（℃）

5、催化剂激活温120（℃）

6、干燥器加热功率12（Kw）

7、原料气体纯99.99%

8、纯化后气体纯99.9993%

9、操作弹性10%120140（Nm3/h）

10、外形尺寸约2750mm2600mm2650mm

11、原料氩杂质要求：

1）、原氩气纯：Ar99.99%

2)、O2100PPm

3)、CO210PPm

4)、N210PPm

5)、H2O0.2%

6)、原料气温：10-55℃

7）、处理气流量：120Nm3/h

8）、原料气露点：-10℃

12、处理后氩气纯：

1）、处理后氩纯：Ar99.9993%

2)、O21PPm

3)、CO25PPm

4)、N25PPm

5)、纯氩气露点：-70℃（H2O2.6PPm）

6)、H21PPm

7）、处理后出口压力：0.6Mpa

8）、含尘量3.5颗/升（对于粒径0.5um尘埃）

三、氩气回收工作原理：

工作流程：原料氩气经流量计、工作阀进入净化器，在常温下氩气经换热器进行能量转换，然后再进入净化器，在50℃～150℃下，氩气中的氧气与金属吸气剂起化学吸附作用除去O2、CO2、CO、H2、CH4，再经水冷却器，后经纯氩出口阀至用户工艺点，可以连续自动切换工作。

四、氩气回收产品特点：

1、结构特征

高纯氩装置应用了特殊设计的气密性技术。整个装置具有良好的气密性及抗污染能力。加热装置采用内热式结构及新颖的保温材料。能耗低。散热小，无污染。整台设备结构紧凑，尤其适合于实验室。洁净厂房，净化车间内使用。

2、使用环境

1）、温：20℃～40℃。

2）、相对温：小于90%。

3）、大气压力：86kpa～106kpa

4）、电源：380V220V10%；50HZ2HZ

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