磁控溅射设备
高真空磁控溅射仪是用磁控溅射的方法,磁控溅射设备,制备金属、合金、化合物、半导体、陶瓷、介质复合膜及其它化学反应膜等;适用于镀制各种单层膜、多层膜、掺杂膜系及合金膜;可镀制磁性材料和非磁性材料。

磁控溅射设备(磁控溅射设备操作流程)
设备关键技术特点
秉承设备为工艺实现提供实现手段的理念,我们做了如下设计和工程实现,实际运行效果良好,为用户的专用工艺实现提供了精准的工艺设备方案。
靶材背面和溅射靶表面的结合处理
-靶材和靶面直接做到面接触是很难的,如果做不到面接触,接触电阻将增大,导致离化电场的幅值不够(接触电阻增大,接触面的电场分压增大),导致镀膜效果不好;电阻增大导致靶材发热升温,降低镀膜质量。
-靶材和靶面接触不良,导致水冷效果不好,降低镀膜质量。
-增加一层特殊导电导热的软薄的物质,磁控溅射设备,保证面接触。
磁控溅射设备操作流程
想贴玻璃膜的车主肯定听过这种话:“我这是磁控溅射玻璃膜,是最好的了,所以价格贵是应该的。”一些车主就会想了,想说价格贵就贵呗,说一大堆理论有啥用,那今天咱们就来看看汽车玻璃膜都有哪几种,以及磁控溅射膜到底是什么档次的膜。
①染色膜:可以说是最低档次的玻璃膜,隔热、防晒等效果甚微,还容易褪色,虽说价格很便宜,但并不是很建议贴(小店用的多);
②涂布印刷膜:质量尚可达标,但造出来的膜太厚了,施工难度大就不说了,还容易翘边,很多车主都说这种膜容易晕。
③普通金属膜:直白的说就是把金属物质通过加工镀在原膜表面,就像是镀金、镀银的概念差不多,磁控溅射设备,是以原膜为载体的,隔热效果相对好很多。
④纳米陶瓷膜:依托纳米技术对原膜加工,提高玻璃膜的耐用性、隔热性等,并且还不会收到磁场干扰,从而避免了影响信号的弊端。
磁控溅射镀膜机
谈到磁控溅射,首先就要说溅射技术。溅射技术是指使得具有一定能量的粒子轰击材料表面,使得固体材料表面的原子或分子分离,飞溅落于另一物体表面形成镀膜的技术。被粒子轰击的材料称为靶材,而被镀膜的固体材料称为基片。首先由极板发射出粒子,这些粒子一般是电子,接着使它们在外电场加速下与惰性气体分子一般是氩气分子(即Ar原子)碰撞,使得其电离成Ar离子和二次电子。Ar离子会受到电场的作用,以高速轰击靶材,使靶材表面原子或分子飞溅出去,落于基片表面沉积下来形成薄膜。
磁控溅射就是在外加电场的两极之间引入一个磁场。这个磁场使得电子受到洛伦兹力的束缚作用,其运动路线受到控制,因此大大增加了电子与Ar分子(原子)碰撞的几率,提高了气体分子的电离程度,磁控溅射设备,从而使溅射效率得到很大的提升。

