磁控溅射镀膜机
磁控溅射原理:电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,磁控溅射镀膜机,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,磁控溅射镀膜机,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜,而二次电子在加速飞向基材时,在磁场的洛仑兹力影响之下,呈现螺旋线状与摆线的复合形式在靶表面做一系列圆周运动,该电子不但运动路径长,还是被电磁场理论束博在靠近靶面的等离子体区域范围内,于此区内电离出大量的Ar,对靶材进行轰击,所以说磁控溅射镀膜设的沉积速率高。

磁控溅射镀膜机(磁控溅射镀膜的优缺点)
从而开发出了磁控溅射镀膜设备,该设备集控溅射与离子镀膜技术为一体,对提高颜色一致性,沉积速率机化合物成分的稳定性提供了解决方案。根据不同的产品需求,可选配加热系统,偏压系统、离化系统等装置,其靶位分布可灵活调整,膜层均匀性优越,配备不同的靶材,可镀制出性能更好的复合膜层。设备所镀制的膜层具有复合力强,致密性强的优点,可有效提高产品的盐雾性、耐磨性及产品表面硬度,满足了高性能膜层制备的需求。
磁控溅射镀膜的优缺点
啥,你不知道磁控溅射镀膜就是真空镀膜?那让我告诉你,磁控溅射镀膜确实是属于真空镀膜!
磁控溅射镀膜-溅射原理:是加工时达到真空条件,一般控制在1.013*10-1-1.3*10-6Pa,加工室内通入Ar(氩气),并启动DC键,Ar发作电离产生氩离子,在电场效果下,电子会加快飞向阳极,在电场效果下,Ar+会加快飞向阴极的靶材,靶材粒子及二次电子被击出,前者到达基片表面进行薄膜生长,后者被加快至阴极途中促成更多的电离。笔直方向分布的磁力线将电子约束在靶材表面附近,延长其在等离子体中的运动轨道,加速它与气体分子磕碰和电离过程的几率的效果。
磁控溅射镀膜
相对蒸发镀,磁控溅射镀膜有如下的特点:
1、膜厚可控性和重复性好;
磁控溅射镀膜机价格
磁控溅射真空镀膜膜层不均的因素有哪些?影响膜层的主要因素有:真空状态、磁场、氩气。
真空状态需要由抽气系统控制,每个出口应同时启动,并具有相同的强度,以控制抽气的均匀性。如果抽气不均匀,真空室内的压力就会不均匀,压力对离子的运动就有一定的影响。此外,还应控制抽气时间。过短会导致真空度不足,但过长会浪费资源。因为真空计的存在,控制好是没有问题的。
磁控溅射真空镀膜
磁场是正交的,但不可能达到100%均匀的磁场强度。一般磁场强的地方,成膜厚度大,反之就小,会导致膜厚度不一致。但在生产过程中,由于磁场不均匀而导致膜层不均匀并不常见。为什么?虽然磁场强度不容易控制,但工件也同时运行,目标原子多次沉积结束涂层过程,虽然有些部分厚,有些部分薄,但在转动过程中,在原来薄的部分转到磁场强的地方,磁控溅射镀膜机,就会堆积厚,厚的到磁场弱的地方沉积薄的,往复多次,整个膜成膜后,磁控溅射镀膜机,均匀性相对较好。


