真空镀膜制冷机组

在高真空环境中，都存在有一定的残余气体。由于水分子量比氧气，氮气等空气主要成分的分子量都小，因此，无论是油扩散泵还是分子泵，都无法迅速，有效地将其抽出，故而越积越多，后成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体；

同时，由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象，会有少量油蒸汽进入真空系统。

由于水蒸气和油蒸汽的存在，导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空，导致抽真空时间变长，生产效率下降，所需真空越高，环境湿越大，影响越明显。

同时，水蒸气，油蒸汽的存在，会导致膜层牢固下降，无法多层镀膜，颜色不均一等。

水蒸气在某些条件下还会电离，产生氧气，使靶材氧化，导致镀膜颜色发生变化。环境湿越大，温越高，所需真空越高，影响越大。因此，水蒸气，油蒸汽是真空镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。

1、水汽捕集器

它的制

冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。

2、低温冷阱

放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。

永佳真空深冷机不同号规格

号ZK-1100D12ZK-1100D16ZK-1100D16LZK-1100D18ZK-1100D18L

功率（KW）

大制冷量（W）（-100℃）

电源380V，50HZ

抽速L/S

预冷时间（min）30

除霜时间（min）33344

再降温时间（min）33333

低温管表面积（O）11.81.52.52

低温管规格20m38m双路15m50m双路20m

冷却方式水冷，水温30℃

冷水流量（t/h）1.62.52.533

冷水接口尺寸（mm）

需冷水机功率（HP）

适用油泵（mm）00或

适用真空腔室（mm）

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